磁悬浮转子微陀螺的设计技术
  • 【摘要】

    磁悬浮转子微陀螺利用电磁涡流实现微转子的悬浮支撑和高速旋转,是一种精度可达惯性级的新颖MEMS(MicroElectronicMechanicalSystem)陀螺.讨论和研究了这种新颖微陀螺的悬浮支撑、高速转动、位置检测及加矩稳定的原理,并给出了相应的微转子、定子悬浮线圈、旋转线圈、稳定线圈、传感电极的设计原则和方法.设计了一个转子直径2200μm、厚度25μm,定子线圈线宽10μm、厚度5μm... 展开>>磁悬浮转子微陀螺利用电磁涡流实现微转子的悬浮支撑和高速旋转,是一种精度可达惯性级的新颖MEMS(MicroElectronicMechanicalSystem)陀螺.讨论和研究了这种新颖微陀螺的悬浮支撑、高速转动、位置检测及加矩稳定的原理,并给出了相应的微转子、定子悬浮线圈、旋转线圈、稳定线圈、传感电极的设计原则和方法.设计了一个转子直径2200μm、厚度25μm,定子线圈线宽10μm、厚度5μm,悬浮励磁频率10MHz、旋转励磁频率2MHz的微陀螺,解决了三维非硅准LiGA技术加工微陀螺中的引线、绝缘、摩擦柱成型问题,并进行了相关的陀螺悬浮旋转试验,该陀螺在空气环境下能够以1000r/min旋转,悬浮高度200μm,说明这种陀螺的原理和设计方法是可行的. 收起<<

  • 【作者】

    张卫平  陈文元  吴校生  赵小林  崔峰  黄晓刚  刘武 

  • 【作者单位】

    上海交通大学,微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030

  • 【会议名称】

    2004第四届精密工程学术研讨会

  • 【会议时间】

    2004-07-01

  • 【会议地点】

    重庆

  • 【主办单位】

    中国仪器仪表学会

  • 【语种】

    chi

  • 【关键词】

    磁悬浮  转子微陀螺  电磁涡流  悬浮支撑  位置检测