基材纳米晶体化对表面薄膜纳米压痕及膜基系统摩擦学行为的影响
  • 【摘要】

    有关基材纳米晶体化对表面薄膜纳米压痕及膜基系统摩擦学行为影响的研究在国际上尚未见报导.本文以常规粗晶钛和纳米晶体钛为基材,采用磁控溅射技术在其表面制备出碳化硅(SiC)薄膜,对薄膜的纳米力学行为和膜基系统的摩擦磨损行为进行了研究.结果发现:基材纳米晶体化对薄膜的纳米力学行为和膜基系统的摩擦学行为具有非常强烈的影响.基材纳米晶体化大幅度降低了表面薄膜的纳米硬度、弹性模量,明显提高了硬度/模量比,大幅... 展开>>有关基材纳米晶体化对表面薄膜纳米压痕及膜基系统摩擦学行为影响的研究在国际上尚未见报导.本文以常规粗晶钛和纳米晶体钛为基材,采用磁控溅射技术在其表面制备出碳化硅(SiC)薄膜,对薄膜的纳米力学行为和膜基系统的摩擦磨损行为进行了研究.结果发现:基材纳米晶体化对薄膜的纳米力学行为和膜基系统的摩擦学行为具有非常强烈的影响.基材纳米晶体化大幅度降低了表面薄膜的纳米硬度、弹性模量,明显提高了硬度/模量比,大幅度提高了膜基系统在高载荷下的摩擦磨损性能(大幅降低薄膜开裂和界面剥落等).有关内在机理的讨论将被呈现. 收起<<

  • 【作者】

    许晓静  卓刘成  郝欣妮  夏登福  陆树显  姜玉杰 

  • 【作者单位】

    江苏大学先进成形技术研究所

  • 【会议名称】

    2008年中国机械工程学会年会暨甘肃省学术年会

  • 【会议时间】

    2008-07-18

  • 【会议地点】

    兰州

  • 【主办单位】

    中国机械工程学会

  • 【语种】

    chi

  • 【关键词】

    基材纳米晶体化  表面薄膜  纳米压痕  膜基系统  摩擦学行为  摩擦磨损性能