永久性气体杂质的检测一直以来足硅烷分析的难点.在此讨论GC-9560-HG电子气体专用氦离子化色谱仪分析硅烷的方法,包括取样方法,样品后处理,色谱柱切割与反吹,进样阀吹扫,自动控制,数据处理等.
方华 陈鹰 庄鸿涛 杨康 黄小强 李建浩
上海华爱色谱分析技术有限公司,上海
2009全国特种气体第十三次年会
2009-09-08
苏州
全国特种气体信息网
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气相色谱仪 电子气体 硅烷取样 尾气处理 氦离子化色谱法 气体杂质检测