永久性气体杂质的检测一直以来足硅烷分析的难点.在此讨论GC-9560-HG电子气体专用氦离子化色谱仪分析硅烷的方法,包括取样方法,样品后处理,色谱柱切割与反吹,进样阀吹扫,自动控制,数据处理等.

方华  陈鹰  庄鸿涛  杨康  黄小强  李建浩 

上海华爱色谱分析技术有限公司,上海

2009全国特种气体第十三次年会

2009-09-08

苏州

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气相色谱仪  电子气体  硅烷取样  尾气处理  氦离子化色谱法  气体杂质检测