燃料电池用湿度传感元件的研制
  • 【摘要】

    通过氧化SiO2绝缘层、蒸镀平板下电极和栅状上电极、涂敷湿敏介质及其亚胺化,以P型单晶硅为基片,聚酰亚胺为湿敏介质,钼和铝为电极材料,制作了平行板电容式湿度传感元件。详细介绍了传感元件的制造工艺和感湿机理,对成品感湿元件的基本电特性进行了测试。结果表明本文研制的湿度传感器设计合理、制作工艺正确,可满足进一步湿敏特性的测试要求。

  • 【作者】

    周文和  王良成  王良璧  刘倩  胡万玲  令小波 

  • 【作者单位】

    兰州交通大学,兰州730070,中国

  • 【会议名称】

    第五届中国智能交通年会暨第六届国际节能与新能源汽车创新发展论坛

  • 【会议时间】

    2009-12-01

  • 【会议地点】

    深圳

  • 【主办单位】

    中国智能交通协会

  • 【语种】

    chi

  • 【关键词】

    聚酰亚胺  湿度传感器  电容式传感器