VDP结构的自动测试及数据处理
  • 【摘要】

    一、前言范德堡(VDP)结构测试方法巳广泛用于扩散层、离子注入层均匀性、重复性测试中.人工进行此项工作,工作量大(对一个3?母片内所有测试图形进行测试和数据处理约需3?5天时间),测量精度也难以保证.该文介绍利用PDP-11 LSI型计算机对VDP结构进行自动测试的原理和方法.采用各种措施确保自动测试总误差小于0.05%,数据处理中采用Grubbs方法对异常数据自动取舍,测试结果可由宽行打印机直接... 展开>>一、前言范德堡(VDP)结构测试方法巳广泛用于扩散层、离子注入层均匀性、重复性测试中.人工进行此项工作,工作量大(对一个3?母片内所有测试图形进行测试和数据处理约需3?5天时间),测量精度也难以保证.该文介绍利用PDP-11 LSI型计算机对VDP结构进行自动测试的原理和方法.采用各种措施确保自动测试总误差小于0.05%,数据处理中采用Grubbs方法对异常数据自动取舍,测试结果可由宽行打印机直接打印输出.目前,该项测试已成为集成电路生产过程中监控薄层电阻均匀性的有效工具之一.图1是对称的VDP测试结构示意图.如果 收起<<

  • 【作者】

    郑木财  张冀 

  • 【作者单位】

    骊山微电子公司

  • 【刊期】

    微电子学与计算机 ISTIC PKU 1983年5期

  • 【关键词】

    异常数据  测试结果  测试点  薄层电阻  均匀性  数据处理  测量值  离子注入机  自动测试  测量精度