静电悬浮转子微陀螺悬浮控制系统的研究
  • 【摘要】

    针对一种新颖的基于MEMS技术的静电悬浮转子微陀螺,提出了悬浮控制系统的原理和设计,并着重对Z轴悬浮控制系统的设计进行了分析,建立了Z轴方向悬浮控制系统的数学模型,通过分析扰动力对转子位移的影响,得出PID(比例-积分-微分控制)参数决定动态刚度,通过仿真结果可以看出,采用反馈线性化可补偿系统的负刚度特性,结合变预载控制实现转子的快速准确定位,为后续的旋转和加矩控制提供良好的条件.

  • 【作者】

    肖奇军  崔峰  李胜勇  陈文元  张卫平 

  • 【作者单位】

    上海交通大学微纳科学技术研究院/上海交通大学微纳科学技术研究院

  • 【刊期】

    传感技术学报 ISTIC PKU 2008年2期

  • 【关键词】

    静电悬浮控制  微陀螺  反馈线性化  变预载控制 

  • 【基金项目】

    武器设备预研基金(9140A09020706JW0314) 国家自然科学基金(60402003)