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  • 7. LED行业用废氨气处理技术

  • 【来源】

    [会议论文] 2015全国气体标准化联合会议 - 2015

  • 【摘要】

    MOCVD金属有机物化学气相沉积法制备LED外延技术产生的尾气危害较大,需要进行处理才能排放.本文对现有的几种尾气处理技术进行分析,指出各自存在的优点和缺点.从回收利用和节能减排两个角度出发,对原有方法进行了改进,...

  • 【关键词】

    氨气  金属有机物化学气相沉积法  尾气处理  LED  环境污染