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  • 12. GE_XSI_(1-X)/SI应变层和超晶格及其临界厚度

  • 【来源】

    [期刊论文] 《半导体光电》1993年1期

  • 【作者】

    罗江财 

  • 【摘要】

    异质外延层的性能和质量,往往取决于异质结构的特性.文章讨论了Ge_xSi-(1-x)/Si 应变层应变层超晶格中的应变、位错和临界厚度,并比较了实验结果.,The characteristics and quality of hetercepitaxial layer are de...

  • 【关键词】

    应变层  超晶格  临界厚度 

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