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  • 5. 离子注入高分子材料的研究动态及应用

  • 【来源】

    [期刊论文] 《半导体技术》2004年3期

  • 【作者】

    岳喜成 

  • 【摘要】

    离子注入聚合物(在一定的能量和一定的剂量),可引起聚合物电导率增加几个到十几个数量级.利用这个特性,可制作导电图样,制作连线,制作P型半导体材料和N型半导体材料,制作PN结,制作二维和三维集成电路互连接.离子注入聚...

  • 【关键词】

    离子注入:表面电导率  聚合物 

  • 13. 离子注入聚醚砜薄膜的导电特性研究

  • 【来源】

    [期刊论文] 《南阳师范学院学报》2003年9期

  • 【作者】

    岳喜成 

  • 【摘要】

    用15 KEV的N+和AR+注入PES,纯PES膜表面电导率提高了5个数量级,掺碘PES膜表面电导率提高4个数量级.表面电导率随剂量的变化关系具有饱和性.掺碘使未注入的PES膜表面电导率提高近一个数量级,掺碘对提高注入离子的PES膜的...

  • 【关键词】

    离子注入  表面电导率  聚醚砜 

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