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  • 9. 硅中铜的深能级研究

  • 【来源】

    [期刊论文] 《电子科学学刊》1987年3期

  • 【作者】

    陈开茅  王忠安 

  • 【摘要】

    该文用DLTS法测量了直拉硅和区熔硅中与铜有关的深能级及其俘获截面,测量了其中部分能级的空间分布,研究了区熔硅中与铜有关深能级的退火特性.结果表明在硅中与铜有关的深能级中不存在文献报道过的代位铜的三个受主态或...

  • 【关键词】

    FZ硅  受主态  深能级  DLTS谱  代位 

年度命中数

的趋势