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  • 1. 微通道气体流动的分子动力学模拟 (被引用:5 次)

  • 【来源】

    [学位论文] 西安电子科技大学 - 2005 - 硕士 - 机械电子工程

  • 【作者】

    李萌萌 
  • 【摘要】

    随着精密加工技术和微电子技术的发展,出现了越来越多的微电子机械系统(MEMS)器件.由于器件尺寸的减少,形成了许多微结构.但这些微结构中的物理特性严重影响着器件的性能.所以对微结构中的微观非经典问题的研究尤为重要...

  • 【关键词】

    分子动力学模拟  速度滑移  微尺度流动 

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