学科筛选

  • 16. 单晶硅氮化动力学

  • 【来源】

    [期刊论文] 《浙江大学学报(自然科学版)》1991年5期

  • 【作者】

    李立本  孙贵如  冯艳丽  李净  李文超  王俭 

  • 【摘要】

    在1200°、1250°、及1300℃恒温氮化2小时热重分析基础上,根据气固相反应动力学原理,分析了单晶硅高温氮化动力学,提出了三段论的氮化动力学模型即化学反应控速?混合控速?扩散控速.用该模型处理实验数据,得到了令人满意...

  • 【关键词】

    单晶硅  动力学  氮化 

  • 29条记录,
  • 共2页
  • 下页
  • 末页
  • / 2跳转

年度命中数

的趋势