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  • 11. 单晶炉低功耗勾形磁场设计与优化

  • 【来源】

    [期刊论文] 《人工晶体学报 》2012年4期

  • 【作者】

    安涛  高勇  张创 

  • 【摘要】

    本文提出了一种低功耗的新勾形磁场结构,来解决现有勾形磁场功耗过大的问题.并以8英寸单晶炉勾形磁场为研究对象,利用有限元法对线圈匝数、电流大小、线圈间距等参数对磁场强度及其分布的影响进行了模拟分析和优化设计...

  • 【关键词】

    单晶炉  勾形磁场  磁场强度  低功耗 

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