【来源】

[会议论文] 2015全国气体标准化联合会议 - 2015

【作者】

【摘要】

采用氦离子检测器(PDHID)气相色谱分析方法测定磷烷(PH3)中的杂质,结果表明氦离子检测器(PDHID)对磷烷分析有较好的效果,并验证其测量应用范围.

【关键词】

【来源】

[会议论文] 全国气体标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会、全国标准样品技术委员会气体标样工作组四届四次会议、全国气体标准化技术委员会分析分会一届四次联合会议 - 2013

【作者】

【摘要】

本文以氨为例,研究气液两态物质的杂质含量差异.采用GC-9560-HG氦离子(PDHID)气相色谱仪测定气态氨和液态氨中的杂质,结果表明,液态数据相对稳定,气态数据差异很大.因此,氨的分析只能用液氨数据,蒸汽态氨体现不出氨中杂...

【关键词】

【来源】

[会议论文] 全国气体标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会、全国标准样品技术委员会气体标样工作组四届三次会议、全国气体标准化技术委员会分析分会一届三次联合会议 - 2012

【作者】

【摘要】

一、引言四氟化硅是目前微电子工业中用量较大的等离子蚀刻气体之一,其主要用于氧化硅和硅化钽的等离子蚀刻、发光二极管P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯石英玻璃的原料,另外,四氟化硅也是...

【来源】

[会议论文] 全国气体标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会、全国标准样品技术委员会气体标样工作组四届三次会议、全国气体标准化技术委员会分析分会一届三次联合会议 - 2012

【作者】

【摘要】

采用氦离子检测器(PDHID)气相色谱分析方法测定氯化氢(HCl)中的杂质,结果表明氦离子检测器(PDHID)对HCl分析有较好的效果和验证其测量应用范围.

【关键词】

【来源】

[会议论文] 中国工业气体工业协会第21次会员代表大会暨2011年年会 - 2011

【作者】

【摘要】

随着产业的发展,对超高纯氨的需求越来越大,品质要求也越来越高.因此对于氨气中的杂质控制也更加严格.本文详细介绍了GC-9560-HG氦离子化气相色谱仪在超高纯氨分析中的应用.该色谱仪可准确测定超高纯氨气中的杂质.

【关键词】

【来源】

[会议论文] 全国特种气体第十五次年会 - 2011

【作者】

【摘要】

随着产业的发展,对超高纯氨的需求越来越大,品质要求也越来越高.因此对于氨气中的杂质控制也更加严格.详细介绍了GC-9560-HG氦离子化气相色谱仪在超高纯氨分析中的应用.该色谱仪可准确测定超高纯氨气中的杂质.

【关键词】

【来源】

[会议论文] 全国特种气体第十四次年会 - 2010

【作者】

【摘要】

采用氦离子检测器(PDHID)及以热导检测器(TCD)与火焰离子化检测器(FID)组合的两种不同气相色谱分析方法测定四氟化碳(CF4)中的杂质,结果表明氦离了化检测器(PDHID)灵敏度更高,检测限更低,更适用于电子气体CF4的检测.

【关键词】

【来源】

[会议论文] 全国气体标准化技术委员会、全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会、全国标准样品技术委员会气体标样工作组第四届成立大会暨四届一次联合会议 - 2010

【作者】

【摘要】

本文简述了氢焰离子化检测器(FID)与氦离子化检测器(PDHID)的结构,工作原理及其应用.通过对高纯气N2、H2、Ar、He、O2中杂质分析的比较,显示GC只需配有一个PDHID即可完成对无机与有机杂质的分析,而且PDHID具有更高的灵...

【关键词】

【来源】

[会议论文] 2009全国特种气体第十三次年会 - 2009

【作者】

【摘要】

永久性气体杂质的检测一直以来足硅烷分析的难点.在此讨论GC-9560-HG电子气体专用氦离子化色谱仪分析硅烷的方法,包括取样方法,样品后处理,色谱柱切割与反吹,进样阀吹扫,自动控制,数据处理等.

【关键词】

【来源】

[会议论文] 2009全国特种气体第十三次年会 - 2009

【作者】

【摘要】

为了更好地控制氟气的生产,研制了此氟气分析系统,对于取样和色谱柱的耐腐蚀问题进行了重点解决,研制出了带负压取样系统的双热导双阀五柱色谱仪,该系统能准确测定氟气纯度.

【关键词】