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  • 2. 洁净预真空的获得

  • 【来源】

    [期刊论文] 《合肥工业大学学报(自然科学版)》1990年4期

  • 【作者】

    胡焕林 

  • 【摘要】

    真空系统中残余气体必须洁净.要求碳氢化合物蒸气组分极低,该文分析了产生油蒸气污染的原因并介绍了干式真空泵的应用与开发.,In the vacuum system, the component of residual gases should be cleaned. The vacuum ...

  • 【关键词】

    洁净预真空  油蒸气污染  干式真空泵 

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