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  • 5. 非简并多光子纳米加工与应用

  • 【来源】

    [学位论文] 中国科学院大学 - 2013 - 博士 - 光学

  • 【作者】

    陈述 
  • 【摘要】

    多光子微纳加工技术具有低成本、高分辨率、高精度以及能够加工任意复杂三维结构的特点,在制作功能性微纳结构和微纳器件中具有广泛的应用.但是,目前报道的多光子微纳加工技术均利用简并多光子吸收效应,而非简并多光子...

  • 【关键词】

    半导体器件%多光子吸收%激光微纳加工%分辨率