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  • 1. 大气下火焰法合成金刚石薄膜

  • 【来源】

    [期刊论文] 《材料科学进展》1992年1期

  • 【作者】

    郑周  陈仑  张明 

  • 【摘要】

    该文介绍了用氧-乙炔火焰法在大气下合成金刚石薄膜的实验结果,初步研究了基板温度对金刚石晶体生长速度、结晶习性的影响,指出了在金刚石(111)及(100)晶面上外延单晶金刚石膜的温度范围,还探讨了氧对薄膜的质量均匀性...

  • 【关键词】

    火焰法  金刚石薄膜  基板温度 

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