【来源】

[会议论文] 2009全国特种气体第十三次年会 - 2009

【作者】

【摘要】

永久性气体杂质的检测一直以来足硅烷分析的难点.在此讨论GC-9560-HG电子气体专用氦离子化色谱仪分析硅烷的方法,包括取样方法,样品后处理,色谱柱切割与反吹,进样阀吹扫,自动控制,数据处理等.

【关键词】