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  • 3. 气相色谱法测定薄膜中氢含量

  • 【来源】

    [期刊论文] 《半导体学报》1993年3期

  • 【作者】

    吕惠云  陈克铭 

  • 【摘要】

    该文介绍用气相色谱法测定氮化硅膜,非晶硅膜,氮化硼膜中的总氢含量及不同温度下氢的热释放率.该方法灵敏度高,简便准确可靠,样品量少,并且不需作特殊处理,可进行定量测定.,We carried out quantitative determination...

  • 【关键词】

    氢含量  气相色谱法测定 

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