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  • 9. 硅器件玻璃钝化

  • 【来源】

    [期刊论文] 《沈阳机电学院学报》1984年3期

  • 【作者】

    崔志武  李学春  孙凡 

  • 【摘要】

    该文介绍了几种玻璃钝化的材料和附着玻璃膜的方法.特别论述硅器件玻璃钝化的原理和工艺流程.在文章中还给出国内外玻璃钝化的发展状况.,This Paper introduces several passivation materials and some methods of fo...

  • 【关键词】

    玻璃粉  系玻璃  附着玻璃  玻璃膜  玻璃钝化 

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