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  • 3. MOS2/TI复合膜的摩擦磨损研究

  • 【来源】

    [期刊论文] 《真空科学与技术学报》2005年5期

  • 【作者】

    李永良  KIN SUNKYU 

  • 【摘要】

    采用直流磁控溅射方法在SKD-11钢的表面沉积一层MOS2/TI复合膜,选择沉积厚度为1 μM和2 μM的复合膜进行摩擦磨损实验,结果表明,MOS2/TI复合膜为纳米复合膜,能大大降低钢表面的摩擦系数,改善钢的摩擦性能.适当增加膜的...

  • 【关键词】

    MOS2/TI复合膜  直流磁控溅射  摩擦  磨损 

  • 6. 直流磁控溅射的应用概述

  • 【来源】

    [期刊论文] 《职业技术》2011年9期

  • 【作者】

    李丽 

  • 【摘要】

    磁控溅射是物相沉积镀膜中较为常用的一种方法.本文介绍了磁控溅射中比较基础的溅射方式-直流磁控溅射,说明了磁控溅射相对于其他物相沉积的优势以及工作原理,重点强调了直流磁控溅射的工作流程.

  • 【关键词】

    直流磁控溅射  镀膜  基底  工作流程 

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