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  • 14. 真空科学在电子学领域应用的新发展

  • 【来源】

    [期刊论文] 《电子器件》1987年1期

  • 【作者】

    刘炳坤 

  • 【摘要】

    真空科学与电子学之间历来有着极为密切的关系,近年来,微电子学和光电子学得到了迅猛的发展和长足的进步.电子器件和电子电路(包括集成电路和集成光路)出现了三种趋向,即尺寸越来越小,组成越来越复杂;速度越来越高;组件...

  • 【关键词】

    真空科学  光电子学  微电子学  新发展 

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