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  • 11. YBACUO薄膜的液氮冷却干式刻蚀法

  • 【来源】

    [期刊论文] 《稀有金属》1993年5期

  • 【作者】

    赵谢群 

  • 【摘要】

    日本学者研究出一种用于制备 IC 图案的干式刻蚀法,此法用液氮来冷却试样.此技术显著改善了超导薄膜的临界电流密度,其 J_c 值比在5℃下刻蚀者高数个数量级.与5℃下刻蚀者进一步比较发现,此技术对薄膜表面损伤较小.这些...

  • 【关键词】

    YBACUO  超导薄膜  液氮冷却  刻蚀法  干式 

  • 13. 用约瑟夫逊器件测量高频

  • 【来源】

    [期刊论文] 《固体电子学研究与进展》1993年4期

  • 【作者】

    戴双诤 

  • 【摘要】

    据日本《于卜亡汐,>学会志》1992年第11期报道,日本神户制钢所用超导薄膜的约瑟夫逊器件检测器成功地检测频率770GHz亚微米波段的电磁波信号. 采用半导体器件以前的检测器,其接收范围为30GHz.现所开发的高频检测器的器...

  • 【关键词】

    超导薄膜  约瑟夫逊器件 

  • 20. 超导薄膜的生产

  • 【来源】

    [期刊论文] 《稀有金属》1990年2期

  • 【作者】

    窦健敏 

  • 【摘要】

    在衬底上涂超导体薄膜的生产方法是将脉冲激光束辐射到靶上,然后把它沉积在衬底表面而形成超导体膜. 本专利改进部分是当把靶中含Nd、Ba、Cu总量确定为100%时,而Nd=10~30at%、Ba=20~40at%、Cu=40~60at%.

  • 【关键词】

    超导薄膜  超导体薄膜 

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