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  • 4. 流态化多晶硅CVD过程的数值模拟

  • 【来源】

    [会议论文] 全国第十二届非均相分离学术交流会暨2015厦门台湾两地过滤与分离技术交流大会 - 2015

  • 【作者】

    宗芳  李建隆 
  • 【摘要】

    本文基于CFD分析手段,针对流化床反应器内复杂的多晶硅CVD气-固反应过程,对流化床内的反应过程和反应时间、进口硅烷浓度、进口气速等情况进行了分析,确定了部分操作条件(进料气速5.5umf、硅烷摩尔进口浓度15%),对...

  • 【关键词】

    多晶硅  流化床  CVD  CFD 
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